一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法

摘要

本发明属于光学干涉检测技术领域，具体涉及一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法。基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、窗口、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜、反射光栅、小孔反射镜、第二透镜、图像传感器，光源发射的光束经准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过窗口、待测物体后入射至第一透镜，经第一透镜聚焦后的光束被非偏振分光棱镜分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜上，物光照射在反射光栅上。本发明装置系统复杂度低，结构简单，操作灵活方便，成本低，不需要偏振片组等特殊光学元件。