一种基于反射光栅的同步相移点衍射干涉检测方法

摘要

基于反射光栅的同步相移点衍射干涉检测方法属于光学干涉检测领域。该方法将测量光束经第一傅里叶透镜以及非偏振分光棱镜后分成参考光和物光；参考光经小孔反射镜滤波反射后射向非偏振分光棱镜，物光经反射光栅反射并衍射生成+1级、0级和‑1级三束物光，射向非偏振分光棱镜；汇合于非偏振分光棱镜参考光和物光共同经过第二傅里叶透镜变换后射向图像传感器，通过一次曝光采集获得三幅强度分布分别为I₊₁、I₀和I_‑1的干涉图；代入公式计算获得待测物体的相位分布；本发明兼顾了测量分辨力、测量效率以及测量窗口的视场，且检测系统结构简单，不需特殊光学元件，检测过程中无需任何机械移动。