六轴MEMS运动传感器的性能测试装置及其测试方法

摘要

六轴MEMS运动传感器的性能测试装置，包括主、副马达，主、副框架和测试电路板；主转轴固定在主马达上，主框架与主转轴相连；副转轴固定在副马达上，副框架与副转轴相连；测试电路板装在副框架上，测试电路板的测试线经副空心轴接入副绕线架中。本装置可以对待测样品施加X、Y、Z三个轴向的加速度激励信号和角速度激励信号，完成测试，具有系统简单，造价低，产能高的优点。本发明的测试方法通过主、副马达的转动，将待测样品的三个感应轴分别对准地球引力的正反方向，测出其初始加速度信号；然后将待测样品的三个感应轴分别对准主转轴轴心线或副转轴轴心线，控制主马达或副马达匀速转动，测出待测样品的初始角速度信号。本方法操作简单、产能高。