测试全入射角下材料二次电子发射系数的方法和装置

摘要

一种测试全入射角下材料二次电子发射系数的方法和装置，涉及物理电子学领域；方法包括：步骤1，将待测样品放入真空腔体内的样品台；收集部分为四分之一球壳的电子收集装置位于上半空间；步骤2，旋转样品台，使待测样品倾斜所需测试角度θ，测试电子收集装置上流过的电流I₁；步骤3，旋转样品台，使待测样品沿相反的方向倾斜角度θ，测试电流I₂；步骤4，保持待测样品不动，将电子收集装置旋转至下半空间，测试电流I₃；步骤5，测试入射电子电流I_p；得出入射角度θ下的二次电子发射系数δ；本发明具有测试结果精确，操作简单易行的优势，以克服现有技术中全球型收集极操作困难、半球型收集极一部分电子无法收集，施加偏压法对测试结果产生影响等问题。