一种微光学元件的复制方法

摘要

本发明公开了一种微光学元件的复制方法，涉及微光学元件的复制技术。该方法采用正性光刻材料(或负性光刻材料)作母板，光敏胶、硅橡胶等材料为复制过程的中间传递板，可复制出与母板凸凹面形相同或相反的微光学元件，故具有较大的灵活性和适用范围。本发明中间过程的传递板可长时间保存及重复使用，复制成本低，复制件的光学性能良好，单元尺寸不受限制，可用于大批量复制价廉的微光学元件。