微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测方法

摘要

本发明公开了一种微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测装置及方法，本装置包括光源、光纤跳线、五维调整架、微小自聚焦透镜夹具、显微系统、光束分析仪和计算机。运行计算机和光束分析仪，光源的输出光束依次通过光纤跳线、微小自聚焦透镜、显微系统后传输到光束分析仪，光束分析仪探测到的光束的形心位置和光斑大小信息在计算机中显示、记录。该装置及方法能实现微小自聚焦透镜聚焦光斑质量的快速、精确检测，能间接测出微小自聚焦透镜的聚焦焦距。