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一种自聚焦透镜成品折射率分布检测方法及系统

摘要

本发明提供一种自聚焦透镜成品折射率分布检测方法及系统,通过激光光路结构的设计,无需对自聚焦透镜进行切片处理,直接对自聚焦透镜成品进行检测,增加了自聚焦透镜折射率分布的检测效率;且本发明中参考光束、测试光束共光路,属于斐索干涉光路,采用自聚焦透镜前表面反射光与标准球面镜反射光的干涉条纹解析自聚焦透镜折射率分布,避免了传统自聚焦透镜折射率分布检测方法中光学元件过多的问题,且其他光学元件的偏离对光程差的影响几乎相同,可克服环境的干扰。

著录项

  • 公开/公告号CN113639973B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 高视科技(苏州)有限公司;

    申请/专利号CN202111200904.5

  • 发明设计人 不公告发明人;

    申请日2021-10-15

  • 分类号G01M11/02(20060101);G01N21/45(20060101);

  • 代理机构11369 北京远大卓悦知识产权代理有限公司;

  • 代理人贺杰

  • 地址 215000 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢

  • 入库时间 2022-08-23 13:04:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-03-28

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01M11/02 专利号:ZL2021112009045 变更事项:专利权人 变更前:高视科技(苏州)有限公司 变更后:高视科技(苏州)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215000 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢 变更后:215000 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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