一种自聚焦透镜折射率分布检测系统及方法

摘要

本发明涉及光学测量技术领域，为解决现有自聚焦透镜折射率分布检测方法的抗环境干扰能力差导致折射率检测精度不高问题，公开了一种自聚焦透镜折射率分布检测系统及方法，自聚焦透镜的前表面反射准直光束后形成参考光束，自聚焦透镜的后表面反射形成测试光束，参考光束与测试光束产生的干涉条纹经分束器反射后，入射至显微成像系统，图像处理系统对相机采集到的自聚焦透镜干涉条纹进行处理，通过解析干涉条纹信息得到自聚焦透镜折射率分布。基于斐索干涉原理的自聚焦透镜折射率分布检测方法实现了高效率、高精度的自聚焦透镜折射率分布检测，同时该斐索干涉仪系统具有抗干扰能力强，体积小的优点。