一种焦平面探测器串音测试的面阵结构及测试方法

摘要

本发明属于红外探测器制造技术领域，涉及对焦平面探测器结构和测试方法的改进。本发明在焦平面阵列内切圆以外的四角位置选取大于5×5像素单元的区域，通过镀膜的方法依次间隔地在像元上镀一层全波段截止的遮光膜。然后在背景条件下对器件进行第一次测试，在面黑体作辐射源的条件下进行第二次测试，两次测试结果作差后被遮光的像元的响应值即为其相邻像元对它的串音总和。本发明的面阵结构与传统结构相比，在串音测试时不再需要光学聚焦系统，因此不再受测试光学系统精度的影响；同时实现了对像元满照射情况下面阵器件串音的测试，更接近器件的实际工作状态，测试结果也更准确。