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使用预制金属柱的金属柱接合

摘要

本发明提供了一种方法,包括形成多个金属柱。通过位于多个金属柱中的相邻金属柱之间的薄弱部分互连多个金属柱以形成金属柱列。薄弱部分包括与多个金属柱相同的金属。多个金属柱中的每一个的大部分都与多个金属柱中与其相邻的金属柱分离。用金属镀多个金属柱中的每一个的端部。将多个金属柱设置在金属柱保存器内。该方法还包括:从金属柱保存器中取出一个金属柱,并且将该金属柱接合至金属焊盘上。本发明还提供了一种包括金属柱列的器件以及一种用于接合金属柱的装置。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-18

    授权

    授权

  • 2014-10-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/488 申请日:20131014

    实质审查的生效

  • 2014-09-17

    公开

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