一种基于微机电系统的微干涉平台

摘要

本发明公开了一种基于微机电系统的微干涉平台，包括硅基板，所述硅基板上设置有第一反射镜、可动的第二反射镜、分光镜以及第二反射镜焊盘，所述第二反射镜焊盘用于与控制所述第二反射镜运动的外部控制电路相连接，照射在所述分光镜上的光能够被分光镜分为两路并分别从第一反射镜、第二反射镜反射回来后在分光镜上产生干涉条纹。本发明利用半导体加工工艺及MEMS微镜，在硅片上设计出一种微型的干涉平台，可以极大的减小干涉平台尺寸，大大减小了干涉平台的体积；同时利用半导体加工方法，可以将动镜、固定镜、分光镜等光学元件准确对齐，减小了组装误差；可以将光学器件做到同一块硅片上，实现干涉平台的模块化；量产后，可大大降低干涉平台的成本。