一种高附着力的含硅聚酰亚胺涂层胶及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高附着力的含硅聚酰亚胺涂层胶及其制备方法。该涂层胶可采用喷涂法、甩涂法或浸涂法涂覆于铝、铜、镍、单晶硅片、玻璃或Al₂O₃、AlN、BeO、SiC及Si₃N₄等陶瓷材料表面，附着力优异。同时，该涂层胶经适当热处理还可制备出聚酰亚胺薄膜材料，其力学性能、热性能、绝缘性能均很优异，吸水率较低，可广泛应用于微电子集成电路、二极管以及高压硅堆等工业中。