线性调频多光束激光外差测量磁致伸缩系数的方法

摘要

线性调频多光束激光外差测量磁致伸缩系数的方法，涉及超精密测量领域。它为了解决现有测定磁致伸缩系数的方法测量精度低的问题。本发明的调整架用于固定待测铁磁体，二号平面反射镜用于固定在待测铁磁体的一个端面，薄玻璃板与二号平面反射镜平行设置；线性调频激光器发出的激光入射至薄玻璃板的表面，经所述薄玻璃板透射后的激光入射至二号平面反射镜，经所述薄玻璃板反射后的激光通过会聚透镜聚焦到光电探测器的光敏面上。本发明将待测铁磁体长度变化量调制在中频外差信号的频率差中，通过测量该频率差即可同时得到多个待测铁磁体长度变化量，测量误差仅为0.08％。本发明适用于超精密测量、检测、加工设备、激光雷达系统等。