法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R33/18 授权公告日:20160921 终止日期:20190515 申请日:20140515
专利权的终止
2016-09-21
授权
授权
2016-09-21
授权
授权
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R33/18 申请日:20140515
实质审查的生效
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 33/18 申请日:20140515
实质审查的生效
2014-08-06
公开
公开
2014-08-06
公开
公开
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机译: 产生激光束高次谐波的装置,使用相同光束的曝光装置,产生激光束高次谐波的方法,使用相同光束的曝光方法以及使用相同光束的器件制造方法
机译: 谐波系数提取装置,谐波系数合成装置,谐波系数提取方法和谐波系数合成方法
机译: 激光束的谐波发生器,曝光设备,激光束的谐波产生方法,使用其的曝光方法以及使用其的器件制造方法