激光外差多普勒二次谐波测厚方法

摘要

为提高玻璃厚度测最的测量精度,提出一种激光外差检测技术和激光多普勒效应相结合的二次谐波玻璃厚度测量方法;方法应用激光多普勒效应,使激光在玻璃前表面的反射光与其前一时刻在后表面反射的光频率不同,于前表面产生差频信号,由快速傅里叶变换得到二次谐波频差,计算得玻璃厚度;理论计算表明,系统中玻璃厚度与频差成正比;MATLAB软件仿真证明,该方法可以实现精确测量厚度小于1 mm的玻璃,测量误差小于土0.005mm.