公开/公告号CN103620737B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 国立大学法人东京大学;株式会社尼康;
申请/专利号CN201280006512.8
申请日2012-01-27
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人舒艳君
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:50:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-28
授权
授权
2014-04-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20120127
实质审查的生效
2014-03-05
公开
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机译: 驱动系统和驱动方法,曝光设备和曝光方法以及驱动系统设计方法
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