首页> 中国专利> 具有热天线的感测器件和用于感测电磁辐射的方法

具有热天线的感测器件和用于感测电磁辐射的方法

摘要

提供了一种方法和一种感测器件。所述感测器件可以包括:热天线,其包括电阻材料并且具有其大小为微米或亚微米量级的横截面。所述热天线可以接收电磁辐射并且把它直接转换为热。所述感测器件也可以包括支撑元件;被布置为产生响应于热传感器的受感测区域的温度检测信号的热传感器;保持元件,其可以支撑并热隔离所述热天线和所述热传感器;以及读出电路,其可以处理所述检测信号以提供关于由所述热天线直接转换为热的所述电磁辐射的信息。所述热天线和所述热传感器与所述支撑元件在空间上分隔。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-12-21

    授权

    授权

  • 2013-08-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 35/00 申请日:20110523

    实质审查的生效

  • 2013-07-31

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号