用于半导体测试系统的电源电流测量单元

摘要

一种用于半导体测试系统中的电源电流测量单元，包括：D/A转换器，基于接受的数字信号，产生供给被测器件的电源电压；运算放大器，用于形成负反馈回路并把电源电压供给被测器件，由此通过电阻器，把电源电流提供给电源引线；电压放大器，用于放大代表电源电流量的电压；积分电路，用于在预定积分时间内对电压放大器的输出信号进行积分；A/D转换器，用于在积分时间之后，转换积分电路的输出信号。该单元能对被测器件的电源电流进行高速、准确地测试。