公开/公告号CN103966573B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡华润上华科技有限公司;
申请/专利号CN201310034933.8
发明设计人 周君;
申请日2013-01-29
分类号
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人邓云鹏
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
入库时间 2022-08-23 09:49:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-28
授权
授权
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20130129
实质审查的生效
2014-08-06
公开
公开
机译: 薄膜沉积工艺和装置,用于薄膜沉积工艺的FTIR气体分析仪以及用于薄膜沉积工艺的混合气体供应装置
机译: 薄膜沉积方法以及用于该设备的混合气体供应装置和薄膜沉积方法
机译: 薄膜沉积方法,装置,薄膜沉积方法中使用的混合气体进料装置以及薄膜沉积方法中使用的红外气体分析仪