公开/公告号CN110527986A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-03
原文格式PDF
申请/专利权人 南京华伯新材料有限公司;
申请/专利号CN201910992547.7
申请日2019-10-18
分类号
代理机构北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张函
地址 210061 江苏省南京市高新技术开发区星火北路11号
入库时间 2024-02-19 15:35:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/513 申请日:20191018
实质审查的生效
2019-12-03
公开
公开
机译: PECVD工艺腔室背板加固
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