公开/公告号CN103922269B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;
申请/专利号CN201410019257.1
发明设计人 A.德赫;
申请日2014-01-16
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人马丽娜
地址 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
入库时间 2022-08-23 09:49:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-04
授权
授权
2014-08-13
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20140116
实质审查的生效
2014-07-16
公开
公开
机译: 具有聚合物层的MEMS器件,具有聚合物层的MEMS器件的系统,制造具有聚合物层的MEMS器件的方法
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机译: 具有聚合物层的MEMS器件,具有聚合物层的MEMS器件的系统,具有聚合物层的MEMS器件的制造方法