一种采用Si基衬底的二极管

摘要

本发明公开了一种采用Si基衬底的二极管，它涉及一种二极管。它包括背面Au电极、Si衬底、AlN缓冲层、AlGaN缓冲层、AlN/GaN超晶格层、粘贴金属、金属反射镜、GaN外延层和正面Au电极，背面Au电极上设置有Si衬底，Si衬底上依次设置有AlN缓冲层、AlGaN缓冲层、AlN/GaN超晶格层、粘贴金属、金属反射镜和GaN外延层，GaN外延层外部设置有正面Au电极。本发明衬底热导率高，可靠性高，发光层背面为金属反射镜，表面有粗化结构，取光效率高。