一种用于半导体介质刻蚀机的气体分配加热器的制作方法

摘要

一种用于半导体介质刻蚀机的气体分配加热器的制作方法，包括以下步骤，加工高纯度铝合金制多孔状加热盘体；将气体分配加热盘靠外圈位置设计两个用于放置加热管的沟槽，深度和宽度与加热管的直径尺寸相同；在加热管的出口处设计成斜边形状，实现加热盘与加热管全程紧密贴合；气体分配加热盘上设若干均匀分布的等直径小孔用于对等离子工作气体进行分配；气体分配加热盘分为底盘和盖板两部分，在盖板上加热管出口的位置具有腰形开口，在其周边设有密封区域，本气体分配加热器通过加热管内部的加热丝产生热量，实现对通过的等离子工作气体加热及对工作气分配功能。具有耐腐蚀性、防尘、提高了工作稳定性，降低了生产成本，提高了生产效率。