一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置

摘要

本发明提供了一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置，其包括激光电源(1)、激光器(2)、光束整形器(3)、偏振能量调节器(4)、聚焦透镜(5)、分光镜(6)、成像光学系统(7)、图像传感器(8)、光电探测器(9)、能量探测器(10)、图像采集卡(11)、光电处理电路(12)、能量采集处理电路(13)、能量调节控制器(14)、样品台(15)、运动控制卡(16)和上位机(17)；采用偏振能量调节方式来调节辐照在被测样品上表面激光脉冲能量，调节方便；采用能量均匀分布的激光光斑辐照来诱导被测样品表面损伤，准确地反映了被测样品表面损伤阈值。该测量装置自动化程度高，使用快捷、方便。