一种光学薄膜激光损伤阈值快速测量装置

摘要

本发明公开了一种光学薄膜激光损伤阈值快速测量装置，其包括上位机(1)、系统控制器(2)、激光电源(3)、激光器(4)、分光镜A(5)、激光束辐照单元、能量密度标定单元、光学薄膜损伤判识单元、脉宽探测单元(8)和一维运动台(9)；该装置采用由扩束镜、达曼光栅和透镜组成的分束聚焦单元A(501)和分束聚焦单元B(602)来实现对入射激光束均匀分束，单发脉冲实现不少于10个阵列测试点的辐照测量，各聚焦点光场强度分布均匀，各子光束间的能量偏差不大于±1％，在焦平面上各子光斑的排列形式为1×N或N×N，相对于传统的单发脉冲只测量一个测试点，测量周期缩短了十倍以上，能够快速准确地测量出光学薄膜的激光损伤阈值。