公开/公告号CN104919081B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱综合材料株式会社;
申请/专利号CN201480004766.5
申请日2014-01-21
分类号
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人朴圣洁
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:48:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-09
授权
授权
2015-10-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20140121
实质审查的生效
2015-09-16
公开
公开
机译: 形成Ag合金膜,Ag合金膜,Ag合金反射膜,Ag合金导电膜和Ag合金半透明膜的溅射靶材
机译: AG合金膜,AG合金导电膜,AG合金反射膜,AG合金半透射膜和形成AG合金膜的溅射靶
机译: Ag合金膜,Ag合金导电膜,Ag合金反射膜,Ag合金半透膜和用于形成Ag合金膜的溅射靶