氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法。以提高氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜(FTO)的电导率。以SnCl₂·2H₂O，NH₄F为起始原料配置成溶胶后，通过将溶胶搅拌蒸发制成干凝胶，再溶解成溶胶的过程去除Cl^‑；同时先在玻璃基底旋涂一层SiO₂，阻止玻璃中的Na⁺，Ca⁺等杂质离子进入FTO薄膜；结合在氮气中退火等综合方法，进一步提高薄膜的导电性能。