法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-24
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20121217
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法