一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置

摘要

本实用新型涉及微波屏蔽技术领域，尤其是一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括支撑板，其特征在于，所述支撑板前后左右四端均固定连接有伸缩板，所述伸缩板的伸缩端上均设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端设置有吸附装置，所述电动伸缩杆顶端固定连接有连接杆，所述连接杆前后两端均固定连接有伸缩杆，所述伸缩板和伸缩杆上均设置有用于分别固定伸缩板和伸缩杆的第一固定装置和第二固定装置，设置在所述支撑板左右两侧的伸缩杆侧端处均设置有连接装置，所述连接柱上端设置有支撑装置，所述支撑板下端间隔设置有四组移动装置。