一种防止真空管道倒流的真空管路系统

摘要

本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，真空阀组通过导线与主泵电性连接，真空阀组还通过导线连接有报警器。在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。