一种具备组合加热真空管道的真空管路系统

摘要

本实用新型涉及真空管路系统技术领域，具体为一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。包括包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，第一管路和第二管路外壁位置包覆有加热套件。在原有真空系统中改造加装真空系统加热套件会加热流经管路的气体，再借助泵的抽吸动作，可以减少粉尘在管路凝结堵死的概率，延长真空系统的运行寿命。