多段ルーツ式真空ポンプ

摘要

【課題】運転時の騒音を低減したスナッパー式サイレンサを備えた多段ルーツ式真空ポンプを提供する。【解決手段】真空室に格納された一対のルーツロータを回転させ、吸込口１７ｃから吸引した空気を吐出口１７ｂから吐出する多段ルーツ式真空ポンプのスナッパー式サイレンサ１７の胴部１７ａを鉄板１７ｊで覆う。胴部からの透過音が減少し、多段ルーツ式真空ポンプの運転時の騒音を低減できる。また、鉄板を巻き付けるだけの簡素な構成であるため低コストで騒音の低減効果を得ることができる。【選択図】図６