一种约束环及用于在等离子体处理室内限制等离子体的设备

摘要

本实用新型提供了一种约束环及用于在等离子体处理室内限制等离子体的设备，其包括：下水平部分，其在所述约束环的内下半径和外半径之间延伸，所述下水平部分包括延伸部分，所述延伸部分在所述内下半径处垂直向下延伸，所述下水平部分还包括多个槽，其中每个槽沿所述下水平部分从内径向外径径向延伸，每个槽在所述内径处的内槽半径小于每个槽在所述外径处的外槽半径；上水平部分，其在所述约束环的内上半径和所述外半径之间延伸；以及垂直部分，其在所述约束环的所述外半径处将所述下水平部分整体地延续到所述上水平部分。