硅片入篮机构

摘要

本实用新型公开硅片入篮机构，涉及硅片生产领域。该硅片入篮机构，包括全封闭模组和滑动载板，全封闭模组的顶部固定安装有伺服电机，全封闭模组的外表面设有插片花篮，滑动载板的顶端两侧均设有定位滑轨，定位滑轨的外表面滑动连接有推料挡杆，滑动载板的底端固定安装有花篮载台，花篮载台的一侧设有下对夹，两组定位滑轨之间设有上对夹。该硅片入篮机构，在使用时通过上对夹和下对夹对插片花篮进行精准定位，避免在插片时出现偏差导致插片失败的情况发生。