一种具有多孔热隔离结构的硅气化芯片

摘要

本实用新型公开了一种具有多孔热隔离结构的硅气化芯片，包括：硅衬底和电极板，电极板设置在硅衬底表面，电极板呈环形结构，电极板内侧的硅衬底上设置有环状气化通道结构，环状气化通道结构包括若干个第一条形气化通道单元，电极板一相对侧的硅衬底上设置有弧形气化通道结构，弧形气化通道结构设置在电极板外侧，弧形气化通道结构包括若干个第二条形气化通道单元，硅衬底边缘与弧形气化通道结构之间的硅衬底上设置有阵列排布的若干个热隔断孔。本实用新型相较于现有技术，采用硅衬底的芯片能均匀、快速、节能地对液体进行电加热气化，多孔隔热结构减少传递到非有效工作区域的热量，提升硅气化芯片的热场均匀性，并且降低功耗。