异质结太阳电池加工设备载板上的硅片装载结构

摘要

本实用新型公开了异质结太阳电池加工设备载板上的硅片装载结构，包括载板本体，与现有技术不同的是，载板本体的顶部设置有四个呈中心对称分布的销钉，且销钉与载板本体插接，所述销钉的顶端固定设有销钉头，所述销钉头朝向载板本体的面呈倾斜设置。本实用新型通过将四个销钉关于载板本体呈中心对称后，四个销钉为硅片的四边做限位处理，当硅片放歪位于销钉头顶部时，由于销钉头朝向载板本体的面呈倾斜设置，因此硅片会自动从销钉头的顶部滑落位于载板本体上，该装载结构降低载板的加工难度，且与硅片接触点少，降低硅片镀膜时的边缘效应，降低对自动化的定位要求，降低产线由于放片不准导致的崩边缺角或镀膜不良的比例。