公开/公告号CN215800039U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;
申请/专利号CN202122274600.5
申请日2021-09-18
分类号C30B19/02(20060101);C30B29/40(20060101);
代理机构32256 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人王锋
地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
入库时间 2022-08-23 04:45:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-11
授权
实用新型专利权授予
机译: 分子束晶体生长装置,制造异质结构和氮源的方法
机译: 晶体生长方法,晶体生长设备,堆叠式晶体生长设备以及具有通过这些方法和设备生产的晶体薄膜的半导体器件
机译: 生长复合半导体晶体的方法,以及用该方法生长的复合半导体晶体层提供的半导体器件和半导体衬底