一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置

摘要

本实用新型涉及一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，包括基座、二维电动位移平台、立柱支架、升降板、Z向高度调节机构、点激光位移传感器、光谱共焦传感器和传感器夹具，在所述基座的一侧安装有立柱支架，所述的Z向高度调节机构固定安装在所述的立柱支架上，与基座之间形成间距；所述的升降板安装在的Z向高度调节机构上，通过Z向高度调节机构驱动；在所述升降板的外侧安装有点激光位移传感器，内侧安装有传感器夹具。本实用新型的优点是：先通过点激光位移传感器进行粗对焦后，再使用Z向高度调整机构进行精确对焦，便于实现自动化操作，提高了检测效率，保证了测量精度。