一种用于化学机械研磨工艺的保持环、研磨头及研磨装置

摘要

本申请实施例提供一种用于化学机械研磨工艺的保持环、研磨头及研磨装置。所述保持环上开设有多个沟槽，所述沟槽贯穿所述保持环的内、外侧壁；在所述保持环的外侧壁上设置有用于监测所述沟槽深度的刻线。本申请实施例提供的用于化学机械研磨工艺的保持环，在保持环的外侧壁上设置有刻线，用于监测所述沟槽深度，以便于在研磨进行过程中，实时监测沟槽深度是否满足研磨工艺的需求，以便及时更换保持环，提高化学机械研磨的效率和研磨效果。