公开/公告号CN215660608U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山鑫康讯精密电子有限公司;
申请/专利号CN202122157429.X
申请日2021-09-08
分类号B26D7/18(20060101);B26D7/00(20060101);B26F1/38(20060101);
代理机构32354 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人姜帆
地址 215300 江苏省苏州市昆山开发区日本工业区郁金香路78号四号楼
入库时间 2022-08-23 04:22:52
机译: 晶圆运输集装箱内部气氛测量装置,晶圆运输容器,晶圆传输容器内部清洁装置,以及晶圆运输容器内部清洁方法
机译: 晶圆运输容器内部大气测量设备晶圆运输容器内部晶圆清洁设备和晶圆运输容器内部清洁方法
机译: 晶圆运输容器内部大气测量设备,晶圆运输容器,晶圆运输容器内部清洁设备以及晶圆运输容器内部清洁方法