公开/公告号CN215678235U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 上海荟跃检测技术有限公司;
申请/专利号CN202122331651.7
申请日2021-09-26
分类号G01N30/02(20060101);
代理机构31346 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘少伟
地址 201805 上海市嘉定区安亭镇昌吉路156弄63号2-4层
入库时间 2022-08-23 04:19:51
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机译: 法布里-珀罗-干涉仪-单元,一种用于操作法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法以及一种制造法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法