公开/公告号CN215587205U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 绍兴奥美电子科技有限公司;
申请/专利号CN202122006279.2
发明设计人 唐志强;
申请日2021-08-24
分类号B07C5/344(20060101);B07C5/02(20060101);B07C5/36(20060101);
代理机构33392 杭州六方于义专利代理事务所(普通合伙);
代理人潘钦颖
地址 312500 浙江省绍兴市新昌县七星街道省级高新技术园区内新涛路69号美盛文化6号厂房(住所申报)
入库时间 2022-08-23 04:10:06
机译: 半导体晶片的缺陷检查设备,具有数据处理单元,该数据处理单元将一组图像与先前由传感器获取的晶片表面的另一组图像进行比较,并基于图像比较自动检测缺陷
机译: 半导体晶片的缺陷检查设备,具有数据处理单元,该数据处理单元将一组图像与先前由传感器获取的晶片表面的另一组图像进行比较,并基于图像比较自动检测缺陷
机译: 在处理室中处理半导体晶片,涉及基于介电层材料的吸收特性选择光源的频率,并以该频率照射光以加热该层