公开/公告号CN104238284B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN201410500277.0
申请日2014-09-25
分类号
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人杨学明
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:44:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
授权
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20140925
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
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