一种碳化硅晶体位错增强检测设备

摘要

本实用新型实施例公开了一种碳化硅晶体位错增强检测设备，包括图像采集器、上光源以及下光源，所述上光源设置在下光源的上方，且上光源和下光源之间形成供碳化硅晶体水平放置的区域，所述图像采集器设置在上光源的上方，并采集上光源于碳化硅晶体上的反射光图影信息和下光源于碳化硅晶体上的透射光图影信息。本实用新型依次设置成像设备、上光源以及下光源，通过同时结合反射光图像和透射光图像，进行对应瑕疵的捕捉，即透射光采集螺位错和刃位错，反射光采集基面位错，利用透射光的引入，使透射光下，刃位错相较螺位错就会变浅，增加了特征信息，便于区分，从而提高对0度切割晶锭的位错检测精度。