一种晶界增强型氮化物结合碳化硅窑具

摘要

本发明涉及一种晶界增强型氮化物结合碳化硅窑具，晶界增强型氮化物结合碳化硅窑具以氮化物+氧化物薄膜为结合相，碳化硅为主晶相；晶界增强型氮化物结合碳化硅窑具由10~20%的氮化物、3~10%的氧化物薄膜和70~87%的碳化硅组成；其中氮化物中包含有由氢化非晶硅在1400~1550℃氮气气氛下通过氮化反应生成的氮化物和另一种氮化物；由氢化非晶硅在1400~1550℃氮气气氛下通过氮化反应生成的氮化物在晶界增强型氮化物结合碳化硅窑具的含量为1~10%。本发明具有导热系数高、高温强度高、抗氧化性能好的特点，有利于棚板、立柱等相关窑具材料长期使用条件下力学性能的稳定。