公开/公告号CN215471465U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 广东利美实业有限公司;
申请/专利号CN202121377997.4
发明设计人 刘欣;
申请日2021-06-21
分类号B26D7/01(20060101);B26D7/32(20060101);
代理机构
代理人
地址 523770 广东省东莞市大朗镇美景中路1068号
入库时间 2022-08-23 03:50:30
机译: 一种从要抛光的晶片的顶表面去除液体的方法,以及一种用于将晶片压在抛光垫上的弹性膜。
机译: 丝网印刷机,包括吸膜机构和辅助台
机译: 边缘清洗机构,用于去除形成在晶片上的抗蚀剂膜的周边部分