一种稀有气体质谱仪的超高真空样品腔

摘要

本实用新型公开了一种稀有气体质谱仪的超高真空样品腔，包括底座，所述底座的顶部设有开口，所述开口处设有金刚石窗口，所述金刚石窗口包括无氧铜环外框以及金刚石内窗，所述金刚石内窗与无氧铜环外框之间设有金锡焊料，所述金刚石内窗通过金锡焊料与无氧铜环外框焊接相连，所述无氧铜环外框设置在法兰盘开口处，所述法兰盘开口处设置在法兰盘中部，所述法兰盘安装在底座上，所述底座上还设有加热组件以及保温组件。此一体式的样品腔将样品腔与加热器及保温件紧密结合，在加热释气时有利于升温/降温速率的精确控制，整个腔体处于较均一的温度环境中，能降低因不同材料热膨胀系数差异产生的微漏风险。