公开/公告号CN215219197U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;北京神目科技有限公司;同方威视技术股份有限公司;
申请/专利号CN202122759758.1
申请日2021-11-12
分类号G01V3/12(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张琛
地址 100084 北京市海淀区清华园1号
入库时间 2022-08-23 03:25:59
机译: 基于太赫兹波的缺陷测量设备和使用该设备的测量方法
机译: 基于太赫兹波的缺陷测量设备和使用该设备的测量方法
机译: 基于Nipkow磁盘subdifraktsionnym分辨率的扫描设备,分辨率为毫米,太赫兹,红外和光学波长