一种WAFER片频率自动分选机

摘要

一种WAFER片频率自动分选机，包括机架，机架上设置有工作台，工作台上一侧摆放有物料盒，工作台上还设置有频率测试装置，物料盒旁设置有晶圆取料机械臂，工作台上设置有一条与物料盒呈垂直关系的导轨，导轨位于工作台一端边缘，导轨上设置有晶圆移动装置，导轨内侧沿导轨方向依次设置有进口晶圆校正装置、测试平台和出口晶圆校正装置，三者均与导轨平行，出口晶圆校正装置处设置有与其垂直的收纳盒，收纳盒旁设置有与晶圆取料机械臂结构相同的晶圆放料机械臂，测试平台前方设置有频率测试装置。