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公开/公告号CN102956665B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 富士胶片株式会社;
申请/专利号CN201210270199.0
发明设计人 大田恭义;佐藤圭一郎;西纳直行;中津川晴康;
申请日2012-07-31
分类号H01L27/30(20060101);H01L27/146(20060101);G01T1/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤雄军
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 09:44:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
2014-07-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/30 申请日:20120731
实质审查的生效
2013-03-06
公开
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